计算机应用研究

作者：张成,戴絮年,郭青秀,李元,

单位：沈阳化工大学技术过程故障诊断与安全性研究中心,沈阳110142；

关键词：邻域保持嵌入,K近邻,半导体蚀刻过程,健康状态监视,故障检测,

基金：国家自然科学基金资助项目(61490701,61673279)；；

针对传统方法对非线性或多模态间歇过程的故障检测率低的问题，提出一种基于K近邻邻域保持嵌入得分差分（difference of K nearest neighbors score associated with neighborhood preserving embedding，DKNPE）的健康状态监视方法。首先，通过NPE方法计算训练数据集的得分矩阵，称其为样本的本质得分。然后，在训练数据集计算每个样本的K近邻均值，并将其投影到低维空间以获得样本的估计得分。接下来，在差分子空间（diffe-rence subspaces，DS）和差分残差子空间（difference residual subspaces，DRS）中分别建立两个新的统计量对样本进行过程监控。将本方法在两个模拟数值例子和半导体蚀刻过程中进行测试，并与PCA、FD-KNN和NPE等传统方法进行对比分析， 测试结果验证了该方法的有效性。

来源：2020年第10期

《计算机应用研究》期刊编辑部

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